技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES應(yīng)用背景該文章翻譯于FraunhoferCSP和DiagnosticsａndMetrologySolarCellsdivision等機(jī)構(gòu)共同研究的工作。電勢(shì)誘導(dǎo)衰減（PID效應(yīng)）普遍存在于晶體硅太陽(yáng)能電池中，通常是由鈉離子產(chǎn)生分流效應(yīng)引起的，傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池已經(jīng)開(kāi)發(fā)出標(biāo)準(zhǔn)的PID測(cè)試條件。利用FreiburgInstruments開(kāi)發(fā)的PIDcon設(shè)備，我們研究了標(biāo)準(zhǔn)化PID測(cè)試程序是否適用于各種結(jié)構(gòu)和成分的鈣鈦礦太陽(yáng)能電池，結(jié)果發(fā)現(xiàn)盡管鈣鈦礦材料與硅基電池結(jié)構(gòu)有明顯差異，但P...
在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代，CT-半導(dǎo)體元器件猶如一顆顆微小卻無(wú)比強(qiáng)大的明珠，鑲嵌在各種電子設(shè)備之中，成為現(xiàn)代科技的基石。CT-半導(dǎo)體元器件的核心在于其獨(dú)特的導(dǎo)電特性。半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體和絕緣體之間，這一特性使得人們可以通過(guò)精確的控制手段，如摻雜雜質(zhì)原子等方法，來(lái)改變其電學(xué)性能。例如，在硅晶體中摻入磷原子就會(huì)產(chǎn)生多余的電子，形成N型半導(dǎo)體;而摻入硼原子則會(huì)產(chǎn)生空穴，成為P型半導(dǎo)體。這種對(duì)材料電學(xué)性質(zhì)的精準(zhǔn)調(diào)控為制造各種功能各異的半導(dǎo)體元器件奠定了基礎(chǔ)。晶體管是最具代表性的...
在工程力學(xué)和材料科學(xué)領(lǐng)域，對(duì)材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和力學(xué)行為的深入研究至關(guān)重要。這不僅關(guān)系到材料的應(yīng)用性能，還直接影響到工程安全和效率。目前，我們要介紹的是Skyscan2214和MTS（材料力學(xué)試驗(yàn)機(jī)）這一對(duì)在力學(xué)研究中不能缺少的黃金搭檔。Skyscan2214：高分辨率X射線(xiàn)成像系統(tǒng)Skyscan2214是由Bruker公司生產(chǎn)的高分辨率X射線(xiàn)成像系統(tǒng)，它在材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)研究中扮演著重要角色。以下是Skyscan2214的一些關(guān)鍵特性和應(yīng)用：1.高分辨率成像能力Skyscan221...
掠入射衍射介紹掠入射衍射（GID,Grazingincidencediffraction）是研究多晶薄膜的一種常用方法。薄膜樣品在Bragg-Brentano對(duì)稱(chēng)衍射中通常表現(xiàn)出非常微弱的衍射信號(hào)，原因在于X射線(xiàn)可穿透薄膜照射到底層襯底，由于襯底其較大的散射體積，導(dǎo)致其衍射信號(hào)在終端信號(hào)中占據(jù)主導(dǎo)地位。然而，如果不是BB幾何的發(fā)散光路，而是一束細(xì)的平行光束照向樣品表面，這樣它只穿透薄膜而不穿透下方的襯底材料，那么來(lái)自薄膜的衍射信號(hào)則會(huì)成為主導(dǎo)。通過(guò)優(yōu)化平行光束的入射角度，可以...
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中，對(duì)晶圓片表面質(zhì)量的精確檢測(cè)是至關(guān)重要的。晶圓片在線(xiàn)面掃檢測(cè)儀作為一種先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備，因其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控晶圓片表面的微小缺陷，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上。晶圓片在線(xiàn)面掃檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)充分考慮了高效檢測(cè)的需求。它通常由一個(gè)高速掃描系統(tǒng)和一個(gè)高分辨率成像系統(tǒng)組成，能夠在晶圓片傳輸過(guò)程中實(shí)時(shí)捕捉表面圖像，并通過(guò)圖像處理算法自動(dòng)識(shí)別和分類(lèi)各種缺陷。這種設(shè)計(jì)不僅能夠提高生產(chǎn)效率，還能夠顯著降低因缺陷導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢率。晶圓片在線(xiàn)面掃檢測(cè)儀還具備多種高級(jí)功能，以滿(mǎn)足不同的應(yīng)...
上篇介紹了俄歇電子能譜（AES）的定性分析、定量分析及化學(xué)態(tài)分析功能，本篇我們將繼續(xù)分享更多AES高級(jí)功能，其中包括表面形貌觀(guān)察、深度分析及顯微分析。表面形貌觀(guān)察AES作為一種先進(jìn)的電子束探針表征技術(shù)，在納米級(jí)乃至更高精度的空間分辨要求上展現(xiàn)出了強(qiáng)大的優(yōu)勢(shì)，因此非常適用于納米尺度材料的表征。與掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）等依賴(lài)電子束探針的技術(shù)相似，AES在電子束聚焦能力上表現(xiàn)出色，尤其是場(chǎng)發(fā)射電子束技術(shù)的融入，極大地提升了其空間分辨能力。當(dāng)前PHI710...
順磁共振譜儀(EPR)是一種基于電子自旋共振現(xiàn)象，用于研究含有未成對(duì)電子的順磁物質(zhì)的儀器。其工作原理和優(yōu)勢(shì)如下：工作原理1.建立磁場(chǎng)：首先在儀器中建立一個(gè)強(qiáng)磁場(chǎng)，通常使用超導(dǎo)磁體來(lái)產(chǎn)生很高的磁場(chǎng)。2.激發(fā)電磁輻射：使用微波源產(chǎn)生特定頻率的微波輻射，這個(gè)頻率通常是與順磁物質(zhì)的共振頻率相匹配的。微波輻射被引導(dǎo)到樣品中，并與樣品中的未成對(duì)電子進(jìn)行相互作用。3.收集信號(hào)：通過(guò)所謂的共振回路(resonator)收集樣品中電子的共振信號(hào)。共振回路是通過(guò)感應(yīng)線(xiàn)圈和諧振電路組成的。4.分析...
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，質(zhì)量控制是確保芯片性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著技術(shù)的發(fā)展，晶圓片在線(xiàn)面掃檢測(cè)儀成為了這一過(guò)程中不可或缺的工具。晶圓片在線(xiàn)面掃檢測(cè)儀是一種高精度的檢測(cè)系統(tǒng)，專(zhuān)門(mén)用于監(jiān)測(cè)晶圓片表面的微小缺陷。這些缺陷可能包括顆粒污染、劃痕或圖案不完整等，它們都可能影響最終產(chǎn)品的性能。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，該設(shè)備能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并反饋給生產(chǎn)線(xiàn)，從而避免不良品的產(chǎn)生。該檢測(cè)儀基于光學(xué)掃描技術(shù)。一束激光或強(qiáng)光被引導(dǎo)至晶圓片表面，并通過(guò)高分辨率的攝像頭捕捉反射回來(lái)的光線(xiàn)。如果晶圓片表面存在任何...
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